产品中心 / Products

ALD前驱体&MO源

原子层沉积设备

磁控溅射阴极

真空检漏仪器

真空零组件

实验室&工业分析仪器

  • 原子层沉积系统反应前驱体

  • 金属有机化学气相沉积反应气源或掺杂源

  • 金属有机分子束外延生长反应气源或掺杂源

  • 应用领域:R&D、太阳能电池、半导体工业、LED光电材料等


  • 采用热法(Thermal ALD)和等离子法(Plasma Enhanced ALD)实现原子层级薄膜沉积

  • 可以在三维工件、不规则体、带有长深孔(深宽比2000:1)工件上沉积薄膜

  • 可以在纳米粉体上沉积薄膜

  • 可以在工件表面沉积亲、疏水性薄膜

  • 应用领域:芯片封装、半导体High-k介电层、纳米涂层、3D涂层、锂电池、催化剂、太阳能电池、生物医学仿生、荧光材料、OLED显示、有机材料、电子电路、光学膜等


  • 美国Angstrom Science品牌,30年专注阴极(圆形靶、矩形靶和旋转靶),自主研发、设计、生产、加工与测试等

  • 磁场设计独有专利技术,提高靶材利用率和膜层均匀性

  • 靶材利用率40%(平面靶)和85%(旋转靶)以上,降低客户材料成本

  • 可以低功率工作,降低客户运维成本20%

  • 独特的水冷设计,水冷效果好,允许更大功率工作

  • 可以根据用户要求进行定制

  • 应用领域:R&D、平板显示、ITO导电玻璃、LOW-E玻璃、太阳能电池、半导体工业等


  • 提供真空系统专用检漏设备及搭建检漏系统

  • 帮助客户探究真空系统检漏方法及解决方案

  • 培训客户使用检漏设备及系统检漏方法与技术

  • 应用领域航空航天、低温化工、电子元器件、电力开关、汽车/家用空调、真空镀膜系统、大型连续生产线


  • 提供等离子体光谱闭环监控系统

  • 提供考夫曼离子源、霍尔离子源和射频离子源等

  • 提供分子泵、罗茨泵、干泵、旋片泵等真空泵及真空机组

  • 提供真空计、流量计等真空测量组件

  • 应用领域:科研军工、镀膜工业、半导体工业、能源工业、分析仪器


  • 提供SEM、TEM、STM、AFM、XPS、XRF等分析测量仪器

  • 提供太阳能光热系统、槽式平面/反射镜、太阳能集热管等性能测量设备

  • 提供薄膜膜层分析测量仪器

  • 提供离子溅射仪及冷水机设备

  • 应用领域R&D、太阳能光热/光伏行业、太阳能电池、锂电池、催化剂、集成芯片电路、汽车零部件、涂层工业、纳米材料、生物医学


真空腔体加工定制



  • 提供小型真空管道、法兰等非标件的加工定制

  • 提供大型真空腔体等非标真空系统的加工定制

  • 提供模具、机械零部件、钣金件等的加工定制



真空镀膜设备

  • 美国SemiCORE品牌,几十年专注PVD设备的开发和研制,具备制程配方工艺、数据记录与存储、远程访问接口等全面交钥匙控制:

  • 提供真空磁控溅射沉积设备

  • 提供Batch批处理、inline在线和Roll to Roll卷绕沉积设备

  • 提供电子束蒸发沉积设备


  • 提供用户定制PVD设备

  • 提供实验室及大规模生产型PVD设备

  • 应用领域:R&D、半导体工业、太阳能电池、玻璃工业、塑料产业

OLED蒸镀设备

  • 韩国iNFOVION品牌提供制程工艺配方、具有存储数据、设置参数、安全互锁等功能,全自动化计算机控制系统

  • 稳定的有机蒸发源和金属蒸发源

  • 稳定可控的沉积速率

  • 稳定可控的温度曲线

  • 高精准的掩膜控制机构和系统

  • 优越的薄膜均匀性

  • 全自动化的Load-lock上下片传送系统

  • 集成手套箱、旋涂仪和UV紫外固化设备

  • 提供Cluster-OLED镀膜设备

  • 应用领域:R&D、OLED显示

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