柱形旋转阴极

Cylinder Cathode

2017年01月01日

矩形平面阴极

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超高真空磁控溅射阴极

应用领域:科研高校、平板显示、ITO导电玻璃、LOW-E玻璃、太阳能电池、半导体工业等


技术优势:

1)30年专注阴极,自主研发、设计、生产、加工与测试等

2)磁场设计独有专利技术,磁铁棒可以调节,提高靶材利用率和膜层均匀性

3)靶材利用率85%以上,降低客户材料成本

4)可以低功率工作,降低客户运维成本20%

5)可以根据用户要求进行定制


专利技术:


蚀刻效果:


产品规格:

产品型号:ONYX-Revolution

靶材外径:76.1mm(3")至152.4mm(6")

阴极长度:1000mm至4000mm


安装方式:

法兰式                                                                                               内置式

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