超高真空磁控溅射阴极

UHV Sputtering

2016年12月31日

柱形旋转阴极

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高功率脉冲磁控溅射阴极

应用领域:超高真空系统


产品规格:

产品型号:ONYX-UHV/ONYX-HT(耐高温)

靶材外径:2”(50.8mm)、3”(76.1mm)、4”(101.6mm)


适配电源:直流、射频、脉冲功率电源


包括组件:插入管件, 挡板, 通气管件, 防污染过滤网等.

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