等离子体

远程等离子体装置

2017年01月01日

Tahiti II

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Particle Deposition Option

    

主要功能参数:

-HCP等离子源:300W,13.56MHz

-Ar,N2,O2等离子气体

-可移除可通偏压栅极

-RF射频电源

-MKS质量流量计控制

-安全互锁

-栅极电压供应电源


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