矩形平面阴极

Rectangular Cathode

2017年01月01日

圆形平面阴极

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柱形旋转阴极


应用领域:科研高校、平板显示、ITO导电玻璃、LOW-E玻璃、太阳能电池、半导体工业等


技术优势:

1)30年专注阴极,自主研发、设计、生产、加工与测试等

2)磁场设计独有专利技术,提高靶材利用率和膜层均匀性

3)靶材利用率40%以上,降低客户材料成本

4)可以低功率工作,降低客户运维成本20%

5)独特的水冷设计,水冷效果好,允许更大功率工作

6)可以根据用户要求进行定制


产品规格:

产品型号:ONYX-xxx

靶材宽度:38.1mm(1.5”)至406.4mm(16”)

靶材长度:最长3657.6mm(144”)


适配电源:射频、直流、中频直流、脉冲直流、微波电源 


阴极定制解决方案案例:

ONYX-3580E

89mm×2032mm External Mount Magnetron

100mm×2464mm Dual Magnetron

选型规格及技术参数:








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