圆形平面阴极

Circular Cathode

2017年01月01日

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矩形平面阴极


应用领域:科研高校、设备商、半导体工业等


技术优势:

1)30年专注阴极,自主研发、设计、生产、加工与测试等

2)磁场设计独有专利技术,提高靶材利用率和膜层均匀性

3)靶材利用率40%以上,降低客户材料成本

4)可以低功率工作,降低客户运维成本20%

5)独特的水冷设计,水冷效果好,允许更大功率工作

6)可以根据用户要求进行定制


产品规格:

产品型号:ONYX-xxx

靶材外径:1”(25.4mm)至16”(406.4mm)

磁场强度:普通磁场(溅射非磁性靶材)和加强磁场(溅射磁性靶材)

功率密度:250w/in2(30w/cm2),低压强,高功率

镀膜均匀性:±3-5%


适配电源:射频、直流、中频直流、脉冲直流、微波电源  


阴极簇解决方案案例:

2组阴极

3组阴极

4组阴极


选型规格及技术参数:











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