超高真空电子束蒸发镀膜设备
v 功能特点
ü 矩形SS316L电抛光，内腔屏蔽
ü 本底真空5E-7Torr或5E-10Torr
ü UHV真空泵和真空计
ü 6 x 3寸行星样品操作台（公、自转）
ü 石英红外线灯，样品加热温度300°C
ü 多个坩埚电子束蒸发源
ü 膜厚监测仪
ü FBBeam系统控制软件
v 功能特点
ü 矩形SS316L电抛光，内腔屏蔽
ü 本底真空5E-7Torr或5E-10Torr
ü UHV真空泵和真空计
ü 6 x 3寸行星样品操作台（公、自转）
ü 石英红外线灯，样品加热温度300°C
ü 多个坩埚电子束蒸发源
ü 膜厚监测仪
ü FBBeam系统控制软件
