等离子清洗/刻蚀机

v  功能指标

ü  处理室: W140×D200×H110(mm)，可选

ü  等离子产生器: 100/200/300w，最大2kw，LF20~100kHz

ü  气体: Ar,N2,O2,H2,He,……

ü  外观尺寸: W580×D580×H340(mm)，可选

ü  选配: 石英管腔

         RF产生器，13.56MHz，功率300W

         RIE模式或Dual模式

v  产品系列

CUTE/COVANCE/COGRADE/COWIN等

v  应用领域

       PDMS芯片制作、表面亲疏水改性、微纳器件、石墨烯，2D材料表面处理、Bio-MEMS芯片、半导体硅片衬底、硅粘合前活化、组织工程、食品科学等

                    CUTE

                   COVANCE

                   COWIN