RGA残余气体分析仪
v 产品型号
ü 工作压强:分为常规型和高压型
ü 型号:MPH、XPR3+、Transpector® SPS等
v 技术参数
ü 质量数范围:1~100,200,300amu
ü 检测器类型:EM/FC电子倍增器/法拉第杯
ü 灯丝类型:氧化钇铱金灯丝或钨灯丝,双灯丝
ü 分辨率:<1 amu @10%全部质量数范围下峰值高度
ü 最低工作压强:5E-4torr(常规型)或1E-4 torr to 1.2 atm(高压型)
ü 全压强范围:2E-7~5E-4torr(常规型)或5E-7 ~ 1E-3 torr(高压型)
v 产品系列详细说明
MPH系列:
Transpector® SPS系列:
北京时代天启真空科技有限公司
北京时代天启真空科技有限公司(简称:天启真空TORCHVAC)专门从事微纳米薄膜沉积装备、样品表面处理仪器、前驱体材料及真空组件等方面产品的销售与技术服务,致力于国家半导体技术、锂电池、太阳能电池等装备、新能源及新材料领域的一家科技服务企业。