v 主要用途
ü原子层沉积系统反应前驱体
ü金属有机化学气相沉积反应气源或掺杂源
ü金属有机分子束外延生长反应气源或掺杂源
v 应用领域
v 常用前驱体
北京时代天启真空科技有限公司
北京时代天启真空科技有限公司(简称：天启真空TORCHVAC)专门从事微纳米薄膜沉积装备、样品表面处理仪器、前驱体材料及真空组件等方面产品的销售与技术服务，致力于国家半导体技术、锂电池、太阳能电池等装备、新能源及新材料领域的一家科技服务企业。
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