多功能Cluster团簇式薄膜沉积/刻蚀系统MBE/PLD/ALD/ICP/RIE/Sputter/IBE/EBE
v CLUSTER团簇式系统描述
多功能CLUSTER团簇式系统等，支持8个工位子系统，全自动传输样品。
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多功能CLUSTER团簇式系统等，支持8个工位子系统，全自动传输样品。
