反射式高能电子衍射仪Rheed system
电子枪电子束能量：15KeV-30KeV；
最大电子束束流：340 uA,250uA,170uA
电子束光斑大小：<70 um；
具有XY扫描，Beam Rocking，Beam Blanking功能；
电磁屏蔽（m-Metal）
安装法兰：DN40CF；
最高烘烤温度：200℃；
配备DN100CF荧光屏；
配备电源以及图像采集（CCD摄像头及对应的遮光罩）和数据分析系统；
RHEED System 15 keV - 30keV
Technical Data:
Energy Range | 7-15 keV | 7-20keV | 10-30keV |
Max. Current | 340 µA (up to 1mA on request) | 250 µA (up to 1mA on request) | 170µA (up to 1mA on request) |
Beam Spot Size | <70 µm | ||
Focus Lens | electrostatic | ||
Deflection | magnetic X-Y, Beam Rocking, Beam Blanking | ||
Mounting Flange | DN40CF | ||
Bakeout Temp. | 200°C | ||
Dimensions | length 242 mm | length 242 mm | length 318mm |
Rheed Phosphor Screens荧光屏
