蒸铟专用设备

v  功能特点

ü 样品尺寸8"

ü  液体介质加热、冷却样品台，-70℃-200℃或-40℃-200℃可选

ü  样品台可旋转，转速0-30RPM可调

   ü  样品台可升降调节，0-100mm距离可调

      ü 带有工艺恒温器系统

ü  高速率蒸发源，蒸发源坩埚28cc，优化的剥离工艺具有均匀和高度准直的沉积通量,功率6kw,带水冷功能

ü 可镀膜厚度10um-15um

ü 可增加全自动铟粒给料机，满足更厚镀膜厚度需求，厚度大于40um以上均可

ü  集成考夫曼离子源Gridded Ion Source

ü  全自动在线膜厚检测，8晶振探头自动切换，带水冷

ü  LOAD-LOCK全自动或手动进样系统

ü  高真空无油系统：低温冷凝泵+前级干泵系统

v  蒸铟效果图