微纳米薄膜沉积装备
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半导体专用远程ICP等离子体增强原子层沉积设备PEALD
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分子束/激光分子束外延生长设备MBE/Laser MBE
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蒸铟专用设备
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脉冲激光沉积设备PLD
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离子束溅射沉积/离子束刻蚀设备IBSD/IBE
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高温超导约瑟夫森结和量子器件制备设备
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半导体器件专用镀膜设备
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低温超导膜Nb,Ti,NbTi/磁性材料专用多腔体超高真空磁控溅射镀膜专用设备
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超高真空电子束蒸发镀膜设备
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激光直写光刻机Laser Direct Writing Lithographer
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ICP-RIE电感耦合等离子体/MP微波等离子体刻蚀机
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多功能Cluster团簇式薄膜沉积/刻蚀系统MBE/PLD/ALD/ICP/RIE/Sputter/IBE/EBE
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多腔体超高真空互联线性传输薄膜沉积系统
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OLED专用蒸发镀膜设备
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PECVD二维材料石墨烯等生长设备
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北京时代天启真空科技有限公司
北京时代天启真空科技有限公司(简称：天启真空TORCHVAC)专门从事微纳米薄膜沉积装备、样品表面处理仪器、前驱体材料及真空组件等方面产品的销售与技术服务，致力于国家半导体技术、锂电池、太阳能电池等装备、新能源及新材料领域的一家科技服务企业。
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