大气等离子清洗机
v 功能指标
ü 等离子体: Direct, Remote Plasma
ü 气体: Ar,N2,O2,H2,He,……
ü 等离子产生器: RF, LF
ü 控制系统: 7”触摸PC，手动/全自动控制
ü 选配：X、Y、Z Robot控制
v 功能指标
ü 等离子体: Direct, Remote Plasma
ü 气体: Ar,N2,O2,H2,He,……
ü 等离子产生器: RF, LF
ü 控制系统: 7”触摸PC，手动/全自动控制
ü 选配：X、Y、Z Robot控制
