脉冲激光沉积设备PLD

v  功能特点

ü   本底真空5E-10Torr

ü   配置REHEED系统

ü   4轴加热样品台，可旋转、XYZ方向均可移动

ü   手动或自动LoadLock上下片系统

ü   抽气流量控制

ü   全金属泄漏阀

ü   激光加热器

v  生长材料

    异质结构金属氧化物（如Fe/SrTiO3、Nb/SrTiO3、BiFeO3等）、高温超导材料、硅氧化物、高K氧化物、金属氮化物、铁电材料等