高温超导约瑟夫森结和量子器件制备设备

v  功能特点

    用于超导量子实验室制备超导结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高稳定性和可重复性超导结。

ü  四腔室超高真空系统

ü  进样室（LoadLock,预处理）

ü  离子铣室（Ion Milling Chamber）

ü  电子束蒸发室（E-beam Chamber）

ü  氧化室（OXIDATION Chamber）

ü  超高真空传输系统(UHV Tunnel integration system)